一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠房均設(shè)有次潔凈區(qū)，使得潔凈室中含微粒之氣流經(jīng)由高架地板及潔凈室樓板進(jìn)入到次潔凈區(qū)，再由抽風(fēng)設(shè)備將次潔凈區(qū)之氣流抽至潔凈室天花板之濾網(wǎng)，重新過濾出潔凈且穩(wěn)定之氣流，而產(chǎn)生一個(gè)循環(huán)系統(tǒng)，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風(fēng)孔，使?jié)崈羰抑畾饬鹘?jīng)由此回風(fēng)孔送到次潔凈區(qū)。